使用吸收法的废气处理设备选用低蒸发或不蒸发性溶剂对VOCs进行吸收,再使用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。含VOCs的气体自设备底部进入塔内,在上升进程中与来自塔**的吸收剂逆流接触,净化后的气体由塔**排出。
吸附型废气处理设备主要是使用多孔物质对废气进行吸附,并且使其进行掉落的进程,吸附处理废气时,吸附的对象是气态污染物,气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质,多孔固体物质称为吸附剂。
焚烧及催化废气处理设备,焚烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有用,其原理是用过量的空气使这些杂质焚烧,大多数生成二氧化碳和水蒸气,能够排放到大气中。但当处理含和含硫的**化合物时,焚烧生成产品中HCl或SO2,需要对焚烧后气体进一步处理。
低温等离子设备是使用等离子体内部产生富含较高化学活性的粒子,如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团产生反应,终究转化为CO2和H2O等物质,然后达到净化废气的意图。